產品簡介
NE-Q15H電感耦合草莓视频APPIOS下载體清洗機主要由氣路係統、泵係統、草莓视频APPIOS下载體清洗係統組成。氣路係統主要由氣瓶、質量流量控製器(MFC)、氣體混合室、相關閥門及管路組成。主要功能是提供穩定比例的工藝氣體。泵係統的核心部件為機械泵,可以為清洗腔室提供背景真空。草莓视频APPIOS下载體清洗係統是設備的核心裝置,主要由射頻功率源和電感耦合草莓视频APPIOS下载體源(Inductively coupled plasma,ICP)組成,射頻功率源可以為射頻線圈提供的13.56MHz的交變電壓,從而產生射頻場使石英腔體中的混合氣體發生電離,形成草莓视频APPIOS下载體。
電感耦合草莓视频APPIOS下载體(ICP)草莓视频APPIOS下载清洗機具有低溫、電子密度高、無電極汙染等特點,除了清潔功能,草莓视频APPIOS下载清洗機在改變材料表麵物理化學性質方麵具有不可替代的作用,能夠顯著提升材料的表麵能及粘接結合力,除此之外通過草莓视频APPIOS下载體處理,可以打破材料表麵的化學鍵並引入新的官能團,從而改變表麵的潤濕性。
產品參數
| 型號 | NE-Q15H |
| 草莓视频APPIOS下载發生器 | 13.56MHz 50-300W可調 |
| 腔體容積 | 15L |
| 腔體材質 | 石英耐熱玻璃 |
| 腔體尺寸(圓形) | Φ250×315(D)mm |
| 氣體流量計 | 0-500 SCCM MFC |
| 氣路數量 | 2路氣體,支持氧氣,氬氣等(如需接入腐蝕性氣體,需提前告知) |
| 真空泵 | 幹泵/油泵(可選) |
| 控製方式 | PLC+7寸觸摸屏 |
| 電源供應 | 220V±10% 50/60Hz |
| 外形尺寸 | 668mm(L)×670mm(W) ×647 mm(H) |
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