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ICP 電感耦合草莓视频APPIOS下载體清洗機NE-Q15H
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產品簡介

NE-Q15H電感耦合草莓视频APPIOS下载體清洗機主要由氣路係統、泵係統、草莓视频APPIOS下载體清洗係統組成。氣路係統主要由氣瓶、質量流量控製器(MFC)、氣體混合室、相關閥門及管路組成。主要功能是提供穩定比例的工藝氣體。泵係統的核心部件為機械泵,可以為清洗腔室提供背景真空。草莓视频APPIOS下载體清洗係統是設備的核心裝置,主要由射頻功率源和電感耦合草莓视频APPIOS下载體源(Inductively coupled plasma,ICP)組成,射頻功率源可以為射頻線圈提供的13.56MHz的交變電壓,從而產生射頻場使石英腔體中的混合氣體發生電離,形成草莓视频APPIOS下载體。

電感耦合草莓视频APPIOS下载體(ICP)草莓视频APPIOS下载清洗機具有低溫、電子密度高、無電極汙染等特點,除了清潔功能,草莓视频APPIOS下载清洗機在改變材料表麵物理化學性質方麵具有不可替代的作用,能夠顯著提升材料的表麵能及粘接結合力,除此之外通過草莓视频APPIOS下载體處理,可以打破材料表麵的化學鍵並引入新的官能團,從而改變表麵的潤濕性。

產品參數

型號NE-Q15H
草莓视频APPIOS下载發生器13.56MHz  50-300W可調
腔體容積15L
腔體材質石英耐熱玻璃
腔體尺寸(圓形)Φ250×315(D)mm
氣體流量計0-500 SCCM MFC
氣路數量

2路氣體,支持氧氣,氬氣等(如需接入腐蝕性氣體,需提前告知)

真空泵幹泵/油泵(可選)
控製方式PLC+7寸觸摸屏
電源供應220V±10% 50/60Hz
外形尺寸668mm(L)×670mm(W) ×647 mm(H)


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