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2.45Ghz 微波草莓视频APPIOS下载清洗機NE-MW80
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產品簡介

微波草莓视频APPIOS下载清洗機,設備結構由五部分組成:外殼框架係統、微波放電係統、真空係統、供氣係統和控製係統。該設備控製方式為工控機+PLC,操作方式包括自動模式和手動模式,在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理,可同時存儲50組不同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警、壓縮空氣壓力低於設定值報警、泵熱過載報警、反應倉泄露率過大報警等安全功能。

微波草莓视频APPIOS下载清洗作為一種綠色無汙染的高精密幹法清洗方式,可以有效去除表麵汙染物,避免靜電損傷。微波草莓视频APPIOS下载清洗與低頻或射頻放電產生的草莓视频APPIOS下载體相比,相對於前兩者,微波草莓视频APPIOS下载清洗機的優點在於:(1)無內部電極,可避免放電汙染,能量轉換效率高,可產生大範圍的高密度草莓视频APPIOS下载體;(2)無損傷工藝,自偏壓極小;(3)高電子密度,製備各種功能薄膜材料的速率較快;(4)離子衝擊小,對器件的損傷小;(5)不產生紫外線輻射。

正是因為具有以上優點,微波草莓视频APPIOS下载在一些工藝中具有不可替代性,例如一些電敏感器件製程中的去膠和清洗。由於激發頻率高,離子動能小,化學草莓视频APPIOS下载作用在微波草莓视频APPIOS下载中占主要部分,可以實現更均勻有效地清洗,在清洗中沒有物理草莓视频APPIOS下载體所產生的物理衝擊和濺射現象,在高可靠性要求的器件尤其是敏感電路的製程清洗過程中,微波草莓视频APPIOS下载清洗機成為關鍵首選的設備。

產品參數

型號NE-MW80
外形尺寸
1050(W)×1050(D) ×1900(H) mm
腔體尺寸400(W)*495(D)*435(H)mm;
載物台尺寸Φ340mm(旋轉工作台)
草莓视频APPIOS下载體發生器頻率2.45GHz,功率100-1000W可調
腔體材質航空鋁合金
電極規格底部裝有可旋轉托盤,倉體右側安裝陶瓷基板,用於擴散微波
真空係統雙級真空泵,進口氣動角閥、充氣閥,高精度真空計
氣路係統標配2路工藝氣體,帶質量流量計,氣體流量0-500SCCM可調
控製係統觸摸屏+PLC全自動控製,手動+自動兩種操作模式
輸入電壓AC380V,50/60Hz,三相五線100A 


產品應用

01

光刻膠底膜去除

光刻膠底膜去除

02

氧化物還原

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03

表麵有機汙染物去除

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04

表麵活化改性

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05

封裝鍵合前清洗

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06

表麵親水性提升

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