產品簡介
草莓视频APPIOS下载刻蝕機主要由高真空刻蝕腔、真空抽氣係統、真空測量係統、壓力控製係統、電源係 統、工藝氣路係統、冷卻係統、電氣控製係統和控製軟件等部分組成。
草莓视频APPIOS下载刻蝕是一種選擇性幹法刻蝕方法，用於各種半導體器件、MEMS器件等的製造技 術，蝕刻用於形成非平麵微觀結構-溝槽或台麵結構，以及具有受控角度的傾斜側壁，其兼 具高精加工精度和再現性。可刻蝕的材料包括但不限於單晶矽、多晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、聚合物等。
產品參數
| 型號 | NE-RE08H |
| 極限真空度 | ≤1×10-4 Pa |
| 草莓视频APPIOS下载發生器 | 射頻電源，自動阻抗匹配 |
| 電極最大功率 | ≥600W |
| 樣品尺寸 | ≤8英寸晶圓 |
| 草莓视频APPIOS下载體刻蝕不均勻性 | ≤3% |
| 草莓视频APPIOS下载體刻蝕速率 | ≥0.1μm/min（以矽晶圓為基準） |
| 刻蝕材料 | 支持氟基和氧基刻蝕，可刻蝕材料包括但不限於單晶矽、多晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、聚合物等 |
| 工藝氣體 | 四路反應氣體（SF6、CHF3、O2、Ar等） |
| 電極材質 | 不鏽鋼 |
| 匹配器匹配穩定時間 | <3s |
| 調壓速度 | ≤30s |
| 控製係統 | 配備工控機自動控製係統 |
| 壓力控製係統 | 0.5Pa～5Pa（精度：±1%；） |
| 電極冷卻方式 | 水冷 |
| 輸入電壓 | 380V |
Copyright@ 2024深圳草莓视频色色官网科技有限公司 All Rights Reserved|
Sitemap
| Powered by 
| 粵ICP備43015061號www.zbxuye.com | 備案號：粵ICP備43015061號www.zbxuye.com
